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低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率Z大、极限压力Z低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。可以获得抽气速率Z大、极限压力Z低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
SHZ-III循环水真空泵特点:此泵具有不用油、无污染、噪音低、移动方便等优点;采取双抽头,可单独或并联使用,装有两个真空表。储水箱和主要部件采用新研制特殊防腐工程塑料,机内连接的主管道选用全不锈钢,耐腐蚀,耐溶解。
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